Die schrittmotorbetätigte Version des Dosierventils ermöglicht die Automatisierung eines Dosiervorganges. Mit Hilfe des schrittmotorbetätigten UHV Dosierventils ist eine Durchflussregelung oder auch eine Druckregelung in allen Vakuumbereichen von von Grob-, Fein- und Hoch- bis zu Ultrahochvakuum möglich.
Die Steuerung kann mit verschiedenen Schnittstellen erfolgen:
USB
Ethernet
MODBUS
Analog (M12 connector)
Sie haben auch die Möglichkeit, einen Sensor (Durchfluss, Druck) anzuschließen und Ihren Prozess als geschlossenen Regelkreis zu betreiben.
Die Auflösung über den gesamten Hub ist sehr hoch: 1.000.000 Schritte.
Das Ventil hat einen Drehgeber, der die Positionierung sicherstellt.
Ein visueller Indikator zeigt die Stellung des Ventils an.
Druch die thermische Isolierung könnne Sie das Gehäuse auf 150°C heizen. Für höhere Ausheiztemperaturen müssen Sie den Motor abnehmen.
Im Lieferumfang ist enthalten: Steuereinheit, Netzkabel, USB-Kabel und 5m Motorkabel.
| Technische Spezifikationen | |
|---|---|
| Werkstoff Gehäuse | 1.4435 (316L) |
| Werkstoff Membrane (Dichtung) | 1.4435 (316L) vergoldet |
| Werkstoffe ausserhalb des Mediums | 1.4301, korrosionsgeschützter Stahl (304) |
| Lebensdauer | 100.000 Zyklen bis zur 1. Wartung |
| Einbaulage | beliebig |
| Innendruck | Vakuum bis 10 bar |
| Druckdifferenz am Ventilsitz | 10 bar von beliebiger Seite |
| Dichtheit Gehäuse | 1.10 -10 mbar.l/s |
| Dichtheit Ventilsitz | 1.10 -10 mbar.l/s |
| Totvolumen: | |
| Hauptflanschseite | 1,0 - 1,4 cm 3 |
| Seitenflansch | 4,6 cm 3 |
| Ausheiztemperaturen: | |
| Ventil offen | 450°C |
| Ventil geschlossen oder betätigbar | 300°C |
| Gewichte: | |
| Schrittmotor CF 16/16 | 3,8 kg |
| Schrittmotor CF 35/16 | 4,4 kg |
| Schrittmotor VCR | 3,7 kg |
| Antrieb: | |
| Zeit Zur Betätigung des ganzen Hubs | 14s |
| Schritte / Hub | 1.000.000 |
| Schnittstellen | USB Ethernet Modbus Analog |
| Eingabe | Touch-Screen |
| Betriebsarten | Manuell automatische Regelung Scipt-Befehle |
Dosierverhalten
Schließen und öffnen
Idealisiertes Messprotokoll: Das Ventil wird von Position 1.000.000 bis Position 0 geschlossen und dann wieder geöffnet. Die rote Kutve zeigt den Schließzusammenhang, die grüne ist die Öffnen Kurve.
Im Bereich 1.000.000 – 700.000 Schritten berührt die Membrane den Ventilsitz nicht.
Im Falle der Nutzung bei Raumtemperatur ist eine Kontrolle im Bereich zwischen 10-9 und 10-10 aus physikalischen Gründen nicht möglich (roter Bereich im Diagramm). Regelung in diesem Bereich ist möglich, wenn das Ventil geheizt wird.
When used in room temperature control between 10-9 and 10-10 is not possible due to physical restrictions (red area in diagram). However, it is possible when heating the valve body.
Der maximale Durchfluss beträgt 60 mbar.l/s.
Reales Messprotokoll: Verschiedene Leckraten (=Durchfluss) werden automatisch eingestellt und für 20 Sekunden gehalten.